上海微电子装备有限公司（简称 SMEE），坐落于上海市的国家级高新技术开发区——浦东张江高科技园区。
SMEE主要从事用于集成电路制造的中高端光刻机等关键设备的开发、制造和技术支持与服务，以帮助客户和合作伙伴取得成功。
上海微电子装备有限公司是国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高新技术企业。主要从事用于集成电路芯片制造及其他相关设备的开发、设计、制造，并提供其维护、成套服务等系统解决方案。
公司位于上海浦东张江高科技园区，拥有5000多平方米的研发中心和3000多平方米的洁净厂房及各种高精度制造、测试设备，公司采用世界上先进的管理系统和设计软件进行运作。
本公司已拥有一批高水平、高素质的研发人员，广纳优秀人才，并为员工提供最好的培养机会，最佳的成长空间，实现企业与员工的共同发展。
上海微电子装备有限公司光学工程部，主要为承担光刻机研发过程中与光学技术相关工作而成立的专门工程部，其主要任务包括：
设计光刻机的照明和成像光学系统（包括光学和机械设计）；
光学系统精密机械设计及集成装调；
专用光学或光电检测系统设计；
跟踪光学领域最先进技术动态，制定光刻机曝光系统光学设计约束指标。
产品系列
地 址：中国上海浦东张江高科技园张东路1525号
邮 编：201203
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